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質量流量控制器可實現流量的自動控制

2021-08-31 08:17:57
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器不但具有質量流量計的功能,重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。
 
  質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣容易實現對流量的計算機管理、累積流量自動計量、數字顯示、數據自動記錄等。對質量流量控制器而言,還可以實現流量的自動控制。質量流量控制器能方便地與計算機連接,進行自動控制。質量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等有用。
 
  質量流量控制器具有精度高,重復性好的特點,可用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。其中包含擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于冶金、石油化工、制藥等。

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