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質量流量控制器可重復性測量和控制質量流量

2022-07-06 12:14:54
本文關鍵字:質量流量控制器

質量流量控制器具有較為優的性能,可以實現較快、高精度和長期穩定的流量控制。其可以使用在不同的流體連接件和電氣接口,可測量50 sccm到200 slm的流量。同時儀表以高精度、長期穩定性和可重復性測量和控制質量流量,可覆蓋寬動態測量范圍。

質量流量控制器外殼由金屬制成,可進行配置。其采用CMOS硅芯片,在這個芯片上集成了模擬和數字處理電路及高精度傳感器元件,由此具有較高的性能,同時傳感器信號可在芯片上直接轉換成經溫度補償和100%校準的數字信號,然后進行傳輸。同時多氣體校準可存儲在單個器件上。儀表還具有通用性,使其可以在醫療和工業中使用,還能為其提供合適的解決方案。


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